ИК-спектрометр исследовательский BRUKER CryoSAS
+7 495 513-13-54
+7 383 383-05-38
0
0
+7 495 513-13-54
+7 383 383-05-38
ИК-спектрометр исследовательский BRUKER CryoSAS

ИК-спектрометр исследовательский BRUKER CryoSAS

CryoSAS — анализатор контроля качества полупроводниковых материалов для фотовольтаики и электронной промышленности
В корзину
Bruker
связаться с нами
ИК-спектрометр исследовательский BRUKER CryoSAS
ИК-спектрометр исследовательский BRUKER CryoSAS
  • Описание
Описание
Ключевые характеристики
Анализатор кремния CryoSAS — это специализированная система для низкотемпературного (<15K) определения мелких примесей в кремнии, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях.

CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующего жидкого гелия. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений.

CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Возможен также одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согласно стандарту ASTM/SEMI MF1391.

Чрезвычайно надежная система охлаждения до крио-температур предназначена для охлаждения детектора и отсека образца. По сравнению с проточными охлаждающими системами, требующими жидкого гелия, система замкнутого типа позволяет Вам сэкономить около 50,000 € за год и даже более (в зависимости от интенсивности использования сисемы).

CryoSAS предназначен для проведения анализа в промышленных условиях. Все вакуумные и охлаждающие устройства контролируются PLC (программируемым логическим контроллером). Охлаждение и начало измерения происходят с нажатия кнопки. От пользователя не требуется обладать специальными навыками и знаниями работе со спектральной или вакуумной техникой.
Комплект поставки
Испытанная конструкция отсека образца: фиксированная оптика и автоподатчик образца. Большой внутренний диаметр отсека образца позволяет легко менять образцы.

Безмаслянный форвакуумный и тубромолекулярный насос обеспеивают быструю и надежную систему вакуумирования.

Держатель образцов на прочной подвижной платформе позволяет автоматически анализировать несколько образцов. Мотор с большим крутящим моментом и цельный перемещающий механизм производит точное позиционирование образцов и обеспечивает годы надежной работоспособности. Смена держателей и образцов не требует усилий. Стабильности температуры обеспечивает конструкция позолоченного медного держателя.

Специализированное программное обеспечение CryoSAS полностью удовлетворяет требованиям промышленного контроля качества, просто в использовании, управляется с помощью сенсорного экрана. Пользователю необходимо выбрать метод анализа, ввести информацию об образце и нажать кнопку запуска. CryoSAS начнет автоматическое охлаждение образца, зарегистрирует ИК-спектр, обработает результат и создаст отчет о проведенном анализе.