Тип микроскопа |
двухлучевая система |
Тип образцов |
металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
Разрешение от, нм |
0,8 |
Разрешение до, нм |
30 |
Область сканирования от, мм |
0 |
Область сканирования до, мм |
150 |
Электронная пушка |
высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки |
Срок службы источника электронов |
12 месяцев |
Установка и обслуживание пушки |
автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения |
Апертуры |
автоматизированные нагреваемые |
Линза |
с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы, 60° |
Источник ионов |
жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока |
Срок службы источника ионов |
гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА |
Ускоряющее напряжение |
от 500 В до 30 кВ |
Ток зонда |
от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней |
Апертурная полоса |
15 положений |
Увеличение |
40×-1,28Mх в зависимости от светофильтра |
Режим подавления смещения |
входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов |
Формирование изображения |
в высоком вакууме |
Оптимальное рабочее расстояние |
3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок); 5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок) |
Максимальная ширина горизонтального поля |
4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде) |
Предметный столик |
Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
Перемещение в плоскости XY |
110×110 мм |
Моторизованное перемещение по оси Z |
65 мм |
Поворот |
n x 360° |
Наклон |
−15° / +90° |
Максимальная высота образца |
расстояние 85 мм до точки Вцентрика |
Максимальный вес образца |
500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
Максимальный размер образца |
Ø120 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |