Тип микроскопа |
сканирующий |
Тип образцов |
влажные, металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
Разрешение от, нм |
1 |
Разрешение до, нм |
2.9 |
Область сканирования от, мм |
0 |
Область сканирования до, мм |
110 |
Предметный столик |
вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
Перемещение в плоскости XY |
110 x 110 мм |
Воспроизводимость результатов |
< 3,0 мкм (при наклоне 0°) |
Моторизованное перемещение по оси Z |
65 мм |
Поворот |
n x 360° |
Наклон |
-15° / +90° |
Максимальная высота образца |
расстояние 85 мм до точки Вцентрика |
Максимальный вес образца |
500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
Максимальный размер образца |
Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |
Внутренняя ширина рабочей камеры |
340 мм |
Аналитическая рабочая дистанция |
10 мм |
Детекторы |
установка до трех детекторов EDS, два из которых расположены друг напротив друга (под углом 180°); Quattro обнаруживает до четырех сигналов одновременно от любого комбинация доступных детекторов или сегментов детектора |
Вакуумная система |
безмасляная |
Насосы |
1х220 л/с TMP (турбомолекулярный насос); 1хPVP (форвакуумный насос); 2 ионно-геттерных насоса |
Уровень вакуума в камере (высокий) |
< 6,3e–6 мбар (после 72 часов откачки) |
Давление в камере при низком вакууме |
от 10 до 500 Па |
Время откачки |
≤ 3,5 мин |
Система очистки образца/камеры |
система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI |
Анализ |
EDS, EBSD, WDS, CL, Raman |
Навигация |
навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS |
Газовая инжекционная система (GIS) |
до 2 устройств, для осаждения следующих материалов: платина, вольфрам, углерод |
Управление системой |
64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7 |
Время получения изображения |
0,025 – 25000 мкс/пикс |
Размер изображения |
до 6144 х 4096 пикс |
Формат изображения |
TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG |
Тип изображения |
однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах |
Вес микроскопа с колонной |
980 кг |