В двухлучевой системе Helios реализованы достижения в области автоэмиссионных SEM (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий.
Helios NanoLab специально разработан как инструмент, позволяющий максимально широко использовать возможности сверхвысокого разрешения (XHR) при выполнении 2D- и 3D-анализа, создании нанопрототипов и подготовке образцов высочайшего качества.
Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности.
Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.
Основные характеристики THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios:
- Самое быстрое получение информации с наноуровня благодаря использованию лучшей среди аналогов колонны СЭМ – Elstar – высокого разрешения, стабильности и автоматизации.
-
Чёткая, улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за счёт шести интегрированных детекторов, расположенных в колонне и под линзой .
-
Создание чётких изображений благодаря интегрированной системе контроля качества образца и специальным режимам визуализации, таким как SmartScan™ и DCFI.
-
Самая быстрая и качественная подготовка поперечных срезов.
-
Возможность получения информации высокого разрешения на различных уровнях, трехмерных изображений и информации об образце при повышенной температуре.
-
Быстрое, точное и надёжное травление и осаждение самых неоднородных и сложных структур размером меньше 10 нм.
-
Работа с образцами, настроенная на конкретную задачу, благодаря возможностям столика (перемещения в горизонтальной плоскости 110 и 150 мм) с пьезо-приводом.
-
Распознавание самых мелких деталей благодаря использованию монохроматора (UC) и его работе при низких энергиях пучка на субнанометровом уровне.