Ключевые характеристики
Анализатор кремния CryoSAS — это специализированная система для низкотемпературного (<15K) определения мелких примесей в кремнии, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях.
CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующего жидкого гелия. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений.
CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Возможен также одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согласно стандарту ASTM/SEMI MF1391.
Чрезвычайно надежная система охлаждения до крио-температур предназначена для охлаждения детектора и отсека образца. По сравнению с проточными охлаждающими системами, требующими жидкого гелия, система замкнутого типа позволяет Вам сэкономить около 50,000 € за год и даже более (в зависимости от интенсивности использования сисемы).
CryoSAS предназначен для проведения анализа в промышленных условиях. Все вакуумные и охлаждающие устройства контролируются PLC (программируемым логическим контроллером). Охлаждение и начало измерения происходят с нажатия кнопки. От пользователя не требуется обладать специальными навыками и знаниями работе со спектральной или вакуумной техникой.