Электронный микроскоп THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios

Электронный микроскоп THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios

В микроскопе Helios NanoLab™ G3 реализованы достижения компании THERMO FISHER SCIENTIFIC в области автоэмиссионных РЭМ (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий.

  • Описание
  • Характеристики
Описание
Ключевые характеристики
В двухлучевой системе Helios реализованы достижения в области автоэмиссионных SEM (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий. 

Helios NanoLab специально разработан как инструмент, позволяющий максимально широко использовать возможности сверхвысокого разрешения (XHR) при выполнении 2D- и 3D-анализа, создании нанопрототипов и подготовке образцов высочайшего качества.

Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности. 

Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.

Основные характеристики THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios:

  • Самое быстрое получение информации с наноуровня благодаря использованию лучшей среди аналогов колонны СЭМ – Elstar – высокого разрешения, стабильности и автоматизации.
  • Чёткая, улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за счёт шести интегрированных детекторов, расположенных в колонне и под линзой .
  • Создание чётких изображений благодаря интегрированной системе контроля качества образца и специальным режимам визуализации, таким как SmartScan™ и DCFI.
  • Самая быстрая и качественная подготовка поперечных срезов.
  • Возможность получения информации высокого разрешения на различных уровнях, трехмерных изображений и информации об образце при повышенной температуре.
  • Быстрое, точное и надёжное травление и осаждение самых неоднородных и сложных структур размером меньше 10 нм.
  • Работа с образцами, настроенная на конкретную задачу, благодаря возможностям столика (перемещения в горизонтальной плоскости 110 и 150 мм) с пьезо-приводом.
  • Распознавание самых мелких деталей благодаря использованию монохроматора (UC) и его работе при низких энергиях пучка на субнанометровом уровне.
Комплект поставки