| Тип микроскопа |
двухлучевая система |
| Тип образцов |
металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
| Разрешение от, нм |
0,8 |
| Разрешение до, нм |
30 |
| Область сканирования от, мм |
0 |
| Область сканирования до, мм |
150 |
| Электронная пушка |
высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки |
| Срок службы источника электронов |
12 месяцев |
| Установка и обслуживание пушки |
автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения |
| Апертуры |
автоматизированные нагреваемые |
| Линза |
с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы, 60° |
| Источник ионов |
жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока |
| Срок службы источника ионов |
гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА |
| Ускоряющее напряжение |
от 500 В до 30 кВ |
| Ток зонда |
от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней |
| Апертурная полоса |
15 положений |
| Увеличение |
40×-1,28Mх в зависимости от светофильтра |
| Режим подавления смещения |
входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов |
| Формирование изображения |
в высоком вакууме |
| Оптимальное рабочее расстояние |
3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок); 5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок) |
| Максимальная ширина горизонтального поля |
4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде) |
| Предметный столик |
Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
| Перемещение в плоскости XY |
110×110 мм |
| Моторизованное перемещение по оси Z |
65 мм |
| Поворот |
n x 360° |
| Наклон |
−15° / +90° |
| Максимальная высота образца |
расстояние 85 мм до точки Вцентрика |
| Максимальный вес образца |
500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
| Максимальный размер образца |
Ø120 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |